| 发明名称 |
Process for the pyrolytic deposition of aluminum from TIBA |
| 摘要 |
A method for the deposition of aluminum on a solid body of pyrolysis of tri-isobutyl aluminum vapor diluted with an inert carrier gas.
|
| 申请公布号 |
US4433012(A) |
申请公布日期 |
1984.02.21 |
| 申请号 |
US19810324729 |
申请日期 |
1981.11.25 |
| 申请人 |
ITT INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
HEINECKE, RUDOLF A. H.;STERN, RONALD C. |
| 分类号 |
C23C16/20;(IPC1-7):C23C11/00;C23C13/00 |
主分类号 |
C23C16/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
