| 发明名称 |
Doped-oxide diffusion of phosphorus using borophosphosilicate glass |
| 摘要 |
The invention is a method for diffusing phosphorus into the surface of a silicon substrate using borophosphosilicate glass as the phosphorus source.
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| 申请公布号 |
US4433008(A) |
申请公布日期 |
1984.02.21 |
| 申请号 |
US19820377197 |
申请日期 |
1982.05.11 |
| 申请人 |
RCA CORPORATION |
发明人 |
SCHNABLE, GEORGE L.;JAMES, EDWARD A. |
| 分类号 |
H01L21/225;(IPC1-7):B05D5/12 |
主分类号 |
H01L21/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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