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经营范围
发明名称
POTENTIAL DETECTOR
摘要
申请公布号
JPS5932145(A)
申请公布日期
1984.02.21
申请号
JP19820141119
申请日期
1982.08.16
申请人
HITACHI SEISAKUSHO KK
发明人
TODOKORO HIDEO;FUKUHARA SATORU
分类号
G01R31/26;G01Q30/02;G01Q30/04;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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