| 发明名称 |
IMAGE DISPLAY SYSTEM OF STROBOSCOPIC SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5931549(A) |
申请公布日期 |
1984.02.20 |
| 申请号 |
JP19820141511 |
申请日期 |
1982.08.13 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
TODOKORO HIDEO;FUKUHARA SATORU |
| 分类号 |
H01J37/22;G01R31/302;H01J37/24;H01J37/26;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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