| 摘要 |
<P>DISPOSITIF POUR LA MESURE DE L'EPAISSEUR D'UNE COUCHE 4A DEPOSEE SUR UN SUBSTRAT TRANSPARENT 4B, LE MATERIAU DE LA COUCHE AYANT UNE LOI D'ABSORPTION LUMINEUSE DU TYPE EXPONENTIEL, CARACTERISE EN CE QU'IL COMPREND:</P><P>-UNE SOURCE 1 DE LUMIERE MONOCHROMATIQUE;</P><P>-UN SEPARATEUR 2 DE LUMIERE PARTAGEANT LE FAISCEAU EMIS PAR LA SOURCE EN DEUX PARTIES, UNE PREMIERE PARTIE ENVOYEE SUR UN PREMIER CONVERTISSEUR OPTO-ELECTRONIQUE 4 FOURNISSANT EN SORTIE UN PREMIER SIGNAL ELECTRIQUE ENVOYE SUR UN PREMIER AMPLIFICATEUR LOGARITHMIQUE, UNE SECONDE PARTIE ENVOYEE NORMALEMENT A L'ECHANTILLON, LE FAISCEAU TRANSMIS ETANT RECU SUR UN SECOND CONVERTISSEUR OPTO-ELECTRONIQUE 5 FOURNISSANT EN SORTIE UN SECOND SIGNAL ELECTRIQUE ENVOYE SUR UN SECOND AMPLIFICATEUR LOGARITHMIQUE, LES SORTIES DES DEUX AMPLIFICATEURS ETANT RELIEES A L'ENTREE D'UN CIRCUIT SOUSTRACTEUR FOURNISSANT EN SORTIE UN SIGNAL PROPORTIONNEL A LA DIFFERENCE ENTRE LE SIGNAL DE SORTIE DU SECOND AMPLIFICATEUR LOGARITHMIQUE ET LE SIGNAL DE SORTIE DU PREMIER AMPLIFICATEUR LOGARITHMIQUE, CETTE DIFFERENCE ETANT REPRESENTATIVE DE L'EPAISSEUR DE L'ECHANTILLON.</P><P>APPLICATION AU CONTROLE DE L'EPAISSEUR DES COUCHES MINCES.</P>
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