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BESTRAHLEINRICHTUNG ZUR AUSHEILUNG VON FESTKOERPERSCHICHTEN IM WAERMELEITUNGSREGIME
摘要
申请公布号
DD207058(A1)
申请公布日期
1984.02.15
申请号
DD19820237332
申请日期
1982.02.11
申请人
VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD
发明人
STEGEMANN,KARL-HEINZ,DD;SELLE,HANS-JOACHIM,DD;GERISCH,DIETBERT,DD;KAHLERT,VOLKER,DD
分类号
H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268
主分类号
H01L21/268
代理机构
代理人
主权项
地址
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