发明名称 BESTRAHLEINRICHTUNG ZUR AUSHEILUNG VON FESTKOERPERSCHICHTEN IM WAERMELEITUNGSREGIME
摘要
申请公布号 DD207058(A1) 申请公布日期 1984.02.15
申请号 DD19820237332 申请日期 1982.02.11
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 STEGEMANN,KARL-HEINZ,DD;SELLE,HANS-JOACHIM,DD;GERISCH,DIETBERT,DD;KAHLERT,VOLKER,DD
分类号 H01L21/268;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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