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发明名称
摘要
申请公布号
DE2203735(A1)
申请公布日期
1972.11.23
申请号
DE19722203735
申请日期
1972.01.27
申请人
发明人
分类号
C23C14/00;C23C14/22;H01C17/08;H01L21/00;H01L29/227;(IPC1-7):H01C7/00
主分类号
C23C14/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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