Process and device for an interferometric measurement of the linear displacement of an object with recognition of its direction of movement.

摘要

Zur interferometrischen Meßung der Länge der geradlinigen Komponente der von einem sich bewegenden Gegenstand durchlaufenen Bewegungsbahn und zur gleichzeitigen Erkennung der Bewegungsrichtung des Gegenstandes wird von zwei ineinander geschachtelten Fabry-Perot-Teilinterferometern Gebrauch gemacht, mit deren Hilfe ein von der geradlinigen Bahnkomponente periodisch abhängiger asymmetrischer Verlauf der Reflektions- bzw. Transmissionsintensität, und zwar mit einem Haupt- und einem Nebenmaximum unterschiedlicher Höhe sowie einem Haupt- und einem Nebenminimum unterschiedlicher Tiefe, erzeugt wird, welcher Verlauf mittels eines Detektors in entsprechende Intensitätssignale umgesetzt wird, die bei Schwellenwertüber- bzw. -unterschreitung nachgeschalteter Triggereinheiten in deren Ausgangssignale umgesetzt werden, diese teilweise zur Vor- bzw. Rückschaltung eines Binär-Zählers und teilweise in Verbindung mit Ausgangssignalen dieses Zählers zur Betätigung einer vor-rückwärtszählenden Anzeige für die jeweils augenblickliche Position des bewegten Gegenstandes.