| 发明名称 |
METHOD FOR PREPARING THIN FILM AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5922931(A) |
申请公布日期 |
1984.02.06 |
| 申请号 |
JP19820132156 |
申请日期 |
1982.07.30 |
| 申请人 |
TEIJIN KK |
发明人 |
MOTOKI TOSHIO;KUSUHARA AKIO |
| 分类号 |
C23C14/56;C08J7/06;G11B5/84;G11B5/85 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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