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发明名称
摘要
申请公布号 FR2426893(B1) 申请公布日期 1984.02.03
申请号 FR19790012856 申请日期 1979.05.21
申请人 KUREHA KAGAKU KOGYO KK 发明人
分类号 G01J5/14;G01J5/34;(IPC1-7):G01J1/44;H01L23/04 主分类号 G01J5/14
代理机构 代理人
主权项
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