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发明名称
ROTARY DEPOSITING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5921090(A)
申请公布日期
1984.02.02
申请号
JP19820131405
申请日期
1982.07.27
申请人
FUJITSU KK
发明人
URADE TOSHINORI
分类号
H05K3/14;C23C14/50;H05K3/00
主分类号
H05K3/14
代理机构
代理人
主权项
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