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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MONOLITHISCH INTEGRIERTEN SCHALTUNG
摘要
申请公布号 DE3228399(A1) 申请公布日期 1984.02.02
申请号 DE19823228399 申请日期 1982.07.29
申请人 SIEMENS AG 发明人 EGGERS,HARALD,DIPL.-ING.
分类号 H01L23/522;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/532;(IPC1-7):01L21/95;01L21/90 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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