APPARATUS FOR DRAWING ELECTRON BEAM PATTERN,申请号GB19830033914-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR DRAWING ELECTRON BEAM PATTERN
摘要
申请公布号	GB8333914(D0)	申请公布日期	1984.02.01
申请号	GB19830033914	申请日期	1983.12.20
申请人	TOKYO SHIBAURA DENKI KK	发明人
分类号	H01L21/027;H01J37/304;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
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