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摘要
申请公布号
JPS593824(B2)
申请公布日期
1984.01.26
申请号
JP19780073537
申请日期
1978.06.16
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
HIRAMATSU TSUNEO
分类号
H01J37/20;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/68;H01L21/683
主分类号
H01J37/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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