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发明名称 MANUFACTURE OF POLYYCRYSTAL SILICON GATE TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS545673(A) 申请公布日期 1979.01.17
申请号 JP19770070483 申请日期 1977.06.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOKOYAMA FUMITAKA
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/06;H01L29/22;H01L29/417 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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