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发明名称 OBJECTIVE LENS FOR IC MASK INSPECTING MACHINE
摘要
申请公布号 JPS5912411(A) 申请公布日期 1984.01.23
申请号 JP19820121346 申请日期 1982.07.14
申请人 OLYMPUS KOGAKU KOGYO KK 发明人 KURITA HIROYUKI
分类号 G02B9/62;G02B13/24;G02B21/02 主分类号 G02B9/62
代理机构 代理人
主权项
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