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发明名称
Method of manufacturing a semiconductor device including burying an insulating film.
摘要
申请公布号
EP0098687(A2)
申请公布日期
1984.01.18
申请号
EP19830303080
申请日期
1983.05.27
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI KABUSHIKI KAISHA
发明人
KUROSAWA, KEI;HORIGUCHI, FUMIO
分类号
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):01L21/76
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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