| 发明名称 |
THIN FILM OF SILICON CONTAINING CRYSTALLITE AND ITS PREPARATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS598609(A) |
申请公布日期 |
1984.01.17 |
| 申请号 |
JP19820114786 |
申请日期 |
1982.07.03 |
| 申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN (JAPAN);TOA NENRYO KOGYO KK |
发明人 |
TANAKA KAZUNOBU;MATSUDA AKIHISA;KUMAGAI KEIJI |
| 分类号 |
C23C16/24;C01B33/02;C23C16/50;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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