发明名称 COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB8332394(D0) 申请公布日期 1984.01.11
申请号 GB19830032394 申请日期 1983.12.05
申请人 PILKINGTON BROS PLC 发明人
分类号 H01L31/04;C23C14/56;C23C16/54;H01L21/205 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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