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发明名称 FOCUSED ION BEAM MICROFABRICATION COLUMN.
摘要
申请公布号 EP0079931(A4) 申请公布日期 1984.01.10
申请号 EP19820901884 申请日期 1982.05.03
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 WARD, WILLIAM J.;WANG, VICTOR;VAHRENKAMP, RICHARD P.;SELIGER, ROBERT L.
分类号 H01J37/317;H01J37/05;H01J37/30;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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