发明名称 DEVICE FOR ELLIPSOMETRIC PARAMETER VISUAL INDICATION
摘要
申请公布号 SU1065697(A1) 申请公布日期 1984.01.07
申请号 SU19813341323 申请日期 1981.09.28
申请人 KI G UNIV IM.T.G.SHEVCHENKO 发明人 SHAJKEVICH IGOR A,SU;DROZD PETR I,SU;POPERENKO LEONID V,SU
分类号 G01J4/04;(IPC1-7):G01J4/04 主分类号 G01J4/04
代理机构 代理人
主权项
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