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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS59920(A) 申请公布日期 1984.01.06
申请号 JP19820108003 申请日期 1982.06.23
申请人 FUJITSU KK 发明人 YAHANO TAKASHI
分类号 H01L21/263;H01L21/265;H01L21/268;H01L29/08;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
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