发明名称 STAGE FOR AUTOMATIC MEASUREMENT,ESPECIALLY OF QUARTZ WAFERS
摘要
申请公布号 PL128010(B1) 申请公布日期 1983.12.31
申请号 PL19800226812 申请日期 1980.09.18
申请人 发明人
分类号 G01B;G01B13/00;(IPC1-7):G01B13/00 主分类号 G01B
代理机构 代理人
主权项
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