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发明名称
摘要
申请公布号 DE2418917(C2) 申请公布日期 1983.12.29
申请号 DE19742418917 申请日期 1974.04.19
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 HINI, PAUL, 8520 ERLANGEN, DE
分类号 G01D5/14;G01D5/16;H01L43/08;(IPC1-7):G01D5/18;G01D5/12 主分类号 G01D5/14
代理机构 代理人
主权项
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