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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01220822(A)
申请公布日期
1989.09.04
申请号
JP19880047335
申请日期
1988.02.29
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SHIMURA TERUYUKI
分类号
H01L21/20;H01L21/265
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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