| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58225665(A) |
申请公布日期 |
1983.12.27 |
| 申请号 |
JP19820106942 |
申请日期 |
1982.06.23 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
NIIMI TOSHIO;NAKAMURA TOORU |
| 分类号 |
H01L27/082;H01L21/8226;H01L27/08;(IPC1-7):01L27/08 |
主分类号 |
H01L27/082 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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