| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01307245(A) |
申请公布日期 |
1989.12.12 |
| 申请号 |
JP19880137845 |
申请日期 |
1988.06.03 |
| 申请人 |
MATSUSHITA GRAPHIC COMMUN SYST INC |
发明人 |
TAKAHASHI MASARO;KUMABE KENJI;YOSHIGAMI NOBORU |
| 分类号 |
H01L23/522;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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