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发明名称 DEPOSITION FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01307229(A) 申请公布日期 1989.12.12
申请号 JP19880138874 申请日期 1988.06.06
申请人 CANON INC 发明人 YOSHINO TOSHIHITO
分类号 G03G5/08;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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