发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE OF THREE DIMENSIONAL STRUCTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS58223359(A) |
申请公布日期 |
1983.12.24 |
申请号 |
JP19820106225 |
申请日期 |
1982.06.22 |
申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
MIYAO MASANOBU;OOKURA OSAMU;TAKEMOTO KAYAO;KETSUSAKO MITSUNORI;MUKAI KIICHIROU;HARUTA AKIRA;NISHIOKA TAIJIYOU;KIMURA SHINICHIROU;TOKUYAMA TAKASHI |
分类号 |
H01L27/00;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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