发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE OF THREE DIMENSIONAL STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS58223359(A) 申请公布日期 1983.12.24
申请号 JP19820106225 申请日期 1982.06.22
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 MIYAO MASANOBU;OOKURA OSAMU;TAKEMOTO KAYAO;KETSUSAKO MITSUNORI;MUKAI KIICHIROU;HARUTA AKIRA;NISHIOKA TAIJIYOU;KIMURA SHINICHIROU;TOKUYAMA TAKASHI
分类号 H01L27/00;H01L21/762;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/00
代理机构 代理人
主权项
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