| 发明名称 |
TRENCH CAPACITOR AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0317152(A3) |
申请公布日期 |
1990.09.12 |
| 申请号 |
EP19880310490 |
申请日期 |
1988.11.08 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
MATSUTANI, TAKESHI;IMAOKA, KAZUNORI |
| 分类号 |
H01L27/10;H01L21/334;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/92 |
主分类号 |
H01L27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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