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发明名称 METHOD OF CONDUCTING PLASMA-CHEMICAL REACTIONS
摘要
申请公布号 SU1507192(A1) 申请公布日期 1990.10.23
申请号 SU19864015268 申请日期 1986.01.31
申请人 NORMAN G.E.,SU;POLAK L.S.,SU;SOPIN P.I.,SU;SOROKIN G.A.,SU 发明人 NORMAN G.E.,SU;POLAK L.S.,SU;SOPIN P.I.,SU;SOROKIN G.A.,SU
分类号 H05H1/00 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人
主权项
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