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发明名称 KUEHLVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3319837(A1) 申请公布日期 1983.12.22
申请号 DE19833319837 申请日期 1983.06.01
申请人 WARGO, ALEC, 06770 NAUGATUCK, CONN., US 发明人 WARGO, ALEC, 06770 NAUGATUCK, CONN., US
分类号 H01L23/473;(IPC1-7):01L23/46;01L23/36 主分类号 H01L23/473
代理机构 代理人
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