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发明名称 VERFAHREN ZUM POLIEREN VON INDIUMPHOSPHIDOBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DE3222790(A1) 申请公布日期 1983.12.22
申请号 DE19823222790 申请日期 1982.06.18
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 KOEHL,FRANZ,DIPL.-PHYS.;SCHNEGG,ANTON,DIPL.-CHEM.DR.;LENER,KARL
分类号 B24B1/00;C30B33/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C30B33/00;C09K13/00;H01L31/18;H01L33/00;B28D5/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
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