发明名称 METHOD OF FORMING DIELECTRIC MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS58220457(A) 申请公布日期 1983.12.22
申请号 JP19830080217 申请日期 1983.05.10
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 NINGU SHII;YUUJIN AASAA AIRIIN;MAUSA HANNA ISHIYAAKU;SUTANREE ROBAATSU
分类号 C01B33/12;B05D5/12;C01B33/113;H01B3/02;H01G2/12;H01G4/06;H01G4/08;H01G4/10;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/94 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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