| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58220461(A) |
申请公布日期 |
1983.12.22 |
| 申请号 |
JP19820104500 |
申请日期 |
1982.06.16 |
| 申请人 |
MATSUSHITA DENSHI KOGYO KK |
发明人 |
KAWAI TADAYUKI;MATSUMURA MITSUKO |
| 分类号 |
H01L21/70;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/70 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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