VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BEREICHSWEISE UNTERSCHIEDLICH DICKEN DECKSCHICHTEN AUF FESTKOERPERN,申请号DD19820238682-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BEREICHSWEISE UNTERSCHIEDLICH DICKEN DECKSCHICHTEN AUF FESTKOERPERN
摘要
申请公布号	DD205288(A1)	申请公布日期	1983.12.21
申请号	DD19820238682	申请日期	1982.04.02
申请人	VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DRESDEN,DD	发明人	RAAB,MICHAEL,DD;PFUELLER,ULRICH,DD;BOSIEN,WOLFHARDT,DD;STEGEMANN,KARL-HEINZ,DD;HILLIGER,ANDREAS,DD;GERISCH,DIETBERT,DD
分类号	H01L21/265;H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283	主分类号	H01L21/265
代理机构		代理人
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