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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION USING LASER RADIATION
摘要
申请公布号 GB2076222(B) 申请公布日期 1983.12.21
申请号 GB19810014468 申请日期 1981.05.12
申请人 WESTERN ELECTRIC CO 发明人
分类号 H01L21/225;H01L21/22;H01L21/263;H01L21/268;H01L29/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/38;H01L21/423;H01S3/19 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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