发明名称 Alignment apparatus.
摘要 Die Erfindung betrifft eine Positionierungsvorrichtung, bestehend aus einer Einrichtung zur Seitenpositionierung und einer Einrichtung zur Längspositionierung einer Druckplatte 1, die mit Hilfe einer nicht dargestellten Rollentransportvorrichtung auf einen Belichtungssaugtisch 2 transportiert wird. Die Einrichtung für die Seitenpositionierung besteht aus einem Druckstück mit einem Bolzen 6 und einem Ring 20 sowie Anschlagstiften 4,4', die dem Druckstück 10 gegenüberliegen. Das von einem Hubzylinder 15 pneumatisch betätigte Druckstück 10 schiebt mittels des Bolzens 6 die Druckplatte 1 gegen die beiden Anschlagstifte 4,4', die justierbar montiert sind. Der Hubzylinder 15 ist in einer Halterung 17 einstellbar. Die Einrichtung für die Längspositionierung umfaßt einen Schieber 5, der in einer Langlochführung 33 verchiebbar ist, und einen Anschlag 3, für die Vorderkante der Druckplatte. Der Schieber 5 ist unter die Oberfläche des Belichtungssaugtisches 2 schwenkbar, so daß ihn die Druckplatte ohne Behinderung überfahren kann. Sobald die Druckplatte den Schieber 5 passiert hat, schwenkt dieser nach oben, liegt an der Hinterkante der Druckplatte 1 an und verschiebt diese gegen den im Belichtungssaugtisch 2 versenkbaren Anschlag 3.
申请公布号 EP0096294(A2) 申请公布日期 1983.12.21
申请号 EP19830105150 申请日期 1983.05.25
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BACK, GUNTER
分类号 H01L21/30;G03F9/00;G03G13/28;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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