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发明名称 HIGH-SPEED ATOMIC BEAM RADIATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03163733(A) 申请公布日期 1991.07.15
申请号 JP19890301832 申请日期 1989.11.22
申请人 EBARA CORP 发明人 NAGAI KAZUTOSHI
分类号 H05H7/08;H01J27/08;H05H3/02 主分类号 H05H7/08
代理机构 代理人
主权项
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