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发明名称
摘要
申请公布号	JPS58191643(U)	申请公布日期	1983.12.20
申请号	JP19820089444U	申请日期	1982.06.15
申请人		发明人
分类号	H01L21/683;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
主权项
地址

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