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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESEITIGUNG VON SCHADSTOFFEN AUS PLASMA-PROZESSABGASEN
摘要
申请公布号 DD204854(A1) 申请公布日期 1983.12.14
申请号 DD19820239552 申请日期 1982.05.04
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 TILLER,HANS-JUERGEN,DD;BERG,DOROTHEA,DD;VOIGT,REINHARD,DD;CLAUS,MATTHIAS,DD;FENDLER,REINHARD,DD;HUEBNER,RUDOLF,DD
分类号 B01D53/14;(IPC1-7):B01D53/14 主分类号 B01D53/14
代理机构 代理人
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