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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR COATING OF CHEMICAL LIQUID
摘要
申请公布号
JPH04326721(A)
申请公布日期
1992.11.16
申请号
JP19910096599
申请日期
1991.04.26
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SADAMORI MASAAKI
分类号
B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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