发明名称 IMPIANTO DI DEPOSIZIONE DI FILM SOTTILI, PREFERIBILMENTE RIFERITO A TECNICHE PECVD E SPUTTERING, E RELATIVI PROCESSI.
摘要
申请公布号 ITRM930216(D0) 申请公布日期 1993.04.06
申请号 IT1993RM00216 申请日期 1993.04.06
申请人 CE.TE.V. CENTRO TECNOLOGIE DEL VUOTO 发明人 MISIANO CARLO;SIMONETTI ENRICO;TAGLIONI GIOVANNI
分类号 C23C14/50;C23C14/56 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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