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发明名称
摘要
申请公布号
JPS58187144(U)
申请公布日期
1983.12.12
申请号
JP19820085143U
申请日期
1982.06.07
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;B41K1/36;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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