| 发明名称 |
PREPARATION OF THIN SIC FILM CONTAINING BEO |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS58213622(A) |
申请公布日期 |
1983.12.12 |
| 申请号 |
JP19820092796 |
申请日期 |
1982.05.31 |
| 申请人 |
HITACHI KINZOKU KK |
发明人 |
KAWAI TETSUO;SAKAKIBARA MASAHIKO;HARA HISAO |
| 分类号 |
C01B33/113;C01B33/02;H01L21/205 |
主分类号 |
C01B33/113 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
