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发明名称
LICHTEMPFINDLICHE KOMPONENTEN FUER POSITIV ARBEITENDE FOTORESISTMATERIALIEN
摘要
申请公布号
DE3220816(A1)
申请公布日期
1983.12.08
申请号
DE19823220816
申请日期
1982.06.03
申请人
MERCK PATENT GMBH
发明人
HAAS,GUENTHER,DR.;HEINZ,DR. NEISIUS,KARL;STEIN,ALFRED,DR.
分类号
G03C1/72;G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/08
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
地址
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