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发明名称
INSTRUMENT FOR MEASURING FILM THICKNESS DISTRIBUTION
摘要
申请公布号
JPH06249621(A)
申请公布日期
1994.09.09
申请号
JP19930035304
申请日期
1993.02.24
申请人
SUMITOMO HEAVY IND LTD
发明人
KOJIMA HIDETSUGU
分类号
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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