| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXY APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2120846(A) |
申请公布日期 |
1983.12.07 |
| 申请号 |
GB19830013058 |
申请日期 |
1983.05.12 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
WON-TIEN * TSANG |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B23/02;C30B29/40;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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