发明名称 CENTRIFUGAL DEHYDRATING DRIER
摘要
申请公布号 JPS58210480(A) 申请公布日期 1983.12.07
申请号 JP19820095455 申请日期 1982.06.01
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 ITE MICHIFUMI
分类号 F26B5/08;H01L21/304 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
地址