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发明名称	Solid state force transducer and method of making same
摘要
申请公布号	USRE31459(E)	申请公布日期	1983.12.06
申请号	US19800115610	申请日期	1980.01.28
申请人		发明人
分类号	H01L29/84;G01P15/08;G01P15/12;H01L41/02;H04R23/00	主分类号	H01L29/84
代理机构		代理人
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